NexION 5000G 多重四极杆 ICP-MS-

NexION 5000G 是珀金埃尔默面向半导体超净分析的多重四极杆 ICP‑MS，核心优势为超痕量检测（BEC<1 ppt）、SEMI S2/S8 合规、极低本底污染、适配高纯材料 / 晶圆 / 电子特气分析 **。

一、核心系统（多重四极杆）

• 质量分析器：四组四极杆（Q0+Q1+Q2+Q3）
  • Q0：四极杆离子偏转器（防污染）
  • Q1/Q3：全尺寸四极杆，分辨率 < 0.7 amu（最优 < 0.3 amu）
  • Q2：四极杆通用池（动态带通调谐，消除复杂干扰）

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• 离子接口：第二代三锥接口（TCI）+ OmniRing™，锥后免维护
• 射频发生器：34 MHz 自激式，LumiCoil™线圈空气冷却（无需水冷）

二、半导体级性能（超净版核心）

• 背景等效浓度（BEC）：<1 ppt（高温等离子体中）
• 检出限（DL）：≤0.1 ppt（典型半导体元素）
• 线性动态范围：10¹⁴（EDR 电子稀释技术）
• 质量范围：2–290 amu
• 扫描速度：最短驻留时间10 μs
• 本底污染：<0.1 ppt（全元素），超净间适配
• 干扰消除：NH₃/O₂/H₂/NF₃等反应气体，消除多原子 / 同质异位素干扰

三、进样系统（半导体专用）

• 雾化器：PFA‑ST（耐 HF，低本底）
• 雾化室：Fluoropolymer（低吸附）
• 炬管：2 mm 内径（高纯石英）
• 样品流量：100–1000 μL/min
• 耐腐蚀性：100% PFA / 石英材质，适配 HF/HNO₃体系

四、超净合规与环境

• 认证：标配SEMI S2/S8（应急停止、安全联锁）
• 洁净等级：**ISO 14644‑1 Class 1（Class 10）** 适配
• 材质：全路径PFA / 石英 / 钛合金，无金属析出
• 排气：最大 4.3 m³/min（超净间排风适配）
• 电源：单相 200V 20A×1；15A×1
• 氩气：≤20 L/min（纯度≥99.996%）

五、物理规格

• 尺寸（宽 × 高 × 深）：114 × 85 × 85 cm
• 重量：191 kg
• 安装空间：≥2.5 m²（超净间标准）

六、软件与数据

• 工作站：Syngistix™ v3.0（半导体专用模板）
• 数据格式：符合SEMI E10/E14，可对接 Fab LIMS
• 合规审计：FDA 21 CFR Part 11、GMP支持

七、关键差异（5000G vs 标准 5000）

• 5000G：超净材质、SEMI 认证、本底 < 0.1 ppt、高纯分析优化
• 标准 5000：通用材质、无 SEMI、本底 < 1 ppt、环境 / 制药 / 食品应用